用时不到两年半：英特尔 High-NA EUV 晶圆处理量突破百万片，超越其他厂商总和

📋总体概括

英特尔宣布其High-NA EUV光刻设备累计处理300mm晶圆突破100万片，距首台设备完成组装不到两年半。公司目前拥有两台ASML Twinscan EXE:5000原型机及至少一台EXE:5200B量产机型，处理量从2025年2月的约3万片跃升至当前百万片。参照ASML今年一季度披露的全行业累计50万片数据，英特尔一家的处理量已超过其他所有用户总和，显示出其在下一代光刻技术上罕见的工艺领先地位。