14nm国产“小光刻机”研制成功！惠然微电子攻克晶圆在线量测卡脖子难题：效率提升10倍

📋总体概括

惠然微电子宣布成功研制14nm研发级和22nm量产级12英寸晶圆CD-SEM（电子束关键尺寸量测设备），破解先进制程在线量测“卡脖子”难题。CD-SEM被称为“小光刻机”，国产化率仅高于光刻机。公司还率先引入AI技术增强图像质量，有望使相关工艺段生产效率提升10倍以上，多款设备已在成熟制程客户产线稳定运行。