晶圆制造🔥8.0
俄罗斯130nm光刻机完成验收：制造成本达650万美元
📋总体概括
俄罗斯宣布其自研130纳米光刻机完成第三阶段设计验收，由泽列诺格勒纳米技术中心与白俄罗斯普拉纳尔公司合作开发，使用国产193纳米准分子激光器，面向200毫米晶圆，制造相关费用累计超10亿卢布（约650万美元）。该机原定2026年3月交付，实际推迟至8月。此前ZNTC已于2025年初产出350纳米光刻机，并开发150纳米电子束光刻设备，显示其在制裁下重建低端光刻能力的路径。
⚡关键信息
- ▸俄罗斯130nm光刻机完成第三阶段设计验收，验收证书于2026年8月7日签署，比原定的2026年3月推迟约5个月
- ▸设备由ZNTC与白俄罗斯普拉纳尔公司合作开发，面向200毫米晶圆，采用国产193纳米准分子激光器等国产部件
- ▸支付给普拉纳尔和拉萨德两家公司的费用累计略超10亿卢布，约合650万美元
- ▸ZNTC已制造两台193纳米准分子激光器原型，并完成光掩模、物镜测试台制造与基础工艺调试
- ▸此前ZNTC于2025年初完成350纳米光刻机并交付Element集团旗下公司，另有150纳米电子束光刻设备在研
🔥犀利点评
650万美元造一台130nm光刻机，账面上便宜得可疑——这是研发样机成本，不是量产成本，且比预定交付晚了5个月，工程化风险已经在暴露。但别急着嘲讽：ASML的EUV动辄上亿欧元，俄罗斯用白俄罗斯搭档加国产激光器拼出130nm，目标从来不是追赶台积电，而是保证军工和基础芯片在被断供时不断线。这是被逼出来的「够用主义」，窄但致命地务实。
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