晶圆制造🔥9.0
俄罗斯130nm光刻机完成验收：制造成本达650万美元
📋总体概括
俄罗斯宣布其130纳米制程光刻机完成第三阶段设计验收，由泽列诺格勒纳米技术中心（ZNTC）与白俄罗斯普拉纳尔公司合作开发，可在200毫米晶圆上投影集成电路图形。ZNTC自研193纳米准分子激光器原型并完成基础工艺调试，累计向承包商支付超10亿卢布（约650万美元级），但第三阶段交付从原定2026年3月推迟至8月。此前ZNTC已于2025年完成350纳米光刻机，这是俄在制裁压力下构建自主光刻能力的阶段性进展。
⚡关键信息
- ▸俄罗斯130nm光刻机完成第三阶段设计验收，验收证书于2026年8月7日签署，比原定2026年3月推迟约5个月
- ▸该设备由ZNTC与白俄罗斯普拉纳尔公司合作开发，可将图形投影到200毫米（8英寸）晶圆上
- ▸ZNTC制造了两台193纳米准分子激光器原型，配套光掩模、物镜测试台并完成基础工艺调试
- ▸累计支付给普拉纳尔和拉萨德公司费用略超10亿卢布，其中激光器开发耗资5亿卢布
- ▸ZNTC在2025年初已交付首台350nm光刻机给Element集团，另开发了150nm电子束光刻设备
🔥犀利点评
130nm是台积电二十多年前的水平，俄白联手五年耗资十几亿卢布才走到设计验收，这个进度条本身就说明问题。但换个角度看，在EUV全面断供、连浸没式DUV都拿不到的封锁下，能用纯国产激光器和零部件跑通193nm干式光刻，算是被逼出来的底线工程。真正的考验不在图纸而在良率和产能——准分子激光器寿命、套刻精度这些硬骨头还在后头，650万美元的成本对商用毫无竞争力，纯粹是战略备胎。
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