中国初创公司展示EUV光源原型机

📋总体概括

中国初创公司朗铎科技在展会上展示了其激光等离子体（LPP）EUV光源原型。尽管这是中国在极紫外光刻光源自主化道路上的重要一步，但业内普遍认为其距离达到实用化EUV功率水平仍需多年时间。即便光源功率达标，中国还需在光学系统、整机集成等众多环节取得突破，才能真正造出实用的EUV光刻机。