中国初创公司发布首台国产EUV光源

📋总体概括

中国初创公司朗道赛思（Langdao Silex）展示首台国产EUV光源系统FlintNano LPP-OXXO，采用与ASML类似的激光等离子体（LPP）技术路线，输出功率超过15瓦，驱动激光功率1000瓦、重复频率1-20kHz，转换效率超2%，可连续运行100小时以上，国产化率约90%。这是中国在EUV光刻最核心的光源环节实现自主化的重要信号，但与ASML商用EUV光源仍有数量级差距。