超纯应材：5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产

📋总体概括

国内半导体材料商超纯应材在互动平台披露，其面向5nm及以下先进制程刻蚀设备的核心零部件已实现稳定量产。刻蚀设备核心零部件长期被海外供应商垄断，是国产刻蚀机供应链的关键卡点之一。此次量产意味着国产零部件已能配套最先进制程的刻蚀设备，有助于降低对进口依赖，提升国内刻蚀设备产业链自主可控水平，是国产半导体零部件向高端环节突破的标志性进展。