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Gigaphoton将其光源技术带向光刻机之外的领域

原标题: Gigaphoton将其光源技术带向光刻机之外的领域

Semiconductor Digest·2026/10/23 12:52:01🔗 原文

📋总体概括

准分子激光器厂商Gigaphoton正将光刻光源技术扩展到光刻机之外的新场景:包括面向先进封装的微过孔钻孔、用于光致抗蚀剂掩模检测与3D量测的紧凑型EUV光源,以及现场氖气回收系统以应对稀有气体供应危机。这标志着这家长期依附于光刻机供应链的日本企业正主动开拓第二增长曲线,把积累数十年的深紫外光源能力复用到先进封装、检测量测和气体安全等新市场。

⚡关键信息

  • ▸Gigaphoton将光刻激光技术延伸至先进封装领域的微过孔钻孔应用
  • ▸公司开发紧凑型EUV光源,用于光致抗蚀剂掩模检测和3D量测
  • ▸推出现场氖气回收方案,目标是缓解下一次稀有气体供应危机
  • ▸战略核心是把扫描光刻机之外的应用作为新业务方向

🔥犀利点评

光刻光源是被ASML和尼康少数玩家锁死的高墙,Gigaphoton在DUV激光里几乎独食,但市场天花板肉眼可见——光刻机出货量就那么多。往先进封装微孔钻孔和actinic检测延伸,本质是把同一种光学能力卖给更大的潜在客户群。氖气回收则是被2022年俄乌断供吓出的清醒:日本在稀有气体上高度依赖俄罗斯,与其赌地缘,不如把气体变成可循环资产。这是典型的『用旧护城河挖新护城河』,方向对,但EUV光源小玩家能否撼动蔡司系生态,仍要打问号。

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