从流体输送到剂量控制：阀门技术如何从工艺部件演进为剂量控制使能者

📋总体概括

Swagelok的Jeff DeWitt在Semiconductor Digest撰文，梳理半导体流体系统中阀门技术的三段演进史：纯度、性能与精度三个时代。随着器件架构缩小并转向3D结构，原子层工艺的工艺窗口收窄到阀门性能成为系统级问题的程度，阀门已从单纯的流体输送部件演变为剂量控制的关键使能者，反映工艺对流体系统精度要求的持续升级。