设备🔥9.0
新凯来设备全面量产！光掩模加晶圆检测双双击穿：量检测10%空白要被填了
📋总体概括
国产设备商新凯来在2026湾芯展确认其半导体设备已全面量产并进入国内多家晶圆厂，覆盖先进逻辑与存储。产品线新增两款检测设备：PMI「六盘山」图形掩模缺陷检测和mEBI「井冈山」多电子束晶圆缺陷检测，后者集成AI检测功能。据伯恩斯坦2026年5月报告，2025年中国本土设备份额升至21%，刻蚀、薄膜沉积分别达31%和27%，但量检测仅约10%。新凯来从工艺装备延伸至量检测，直指国产设备最大空白，子公司启云方的EDA软件也已落地超100家企业。
⚡关键信息
- ▸新凯来确认设备全面量产，已进入国内多家晶圆厂，覆盖先进逻辑与存储领域
- ▸新发布PMI「六盘山」掩模缺陷检测与mEBI「井冈山」多电子束晶圆缺陷检测两款设备
- ▸伯恩斯坦报告：2025年本土厂商在国内晶圆设备市场份额达21%，量检测仅约10%
- ▸刻蚀与薄膜沉积国产份额分别达31%和27%，量检测成为最薄弱环节
- ▸子公司启云方EDA软件已落地超100家企业
🔥犀利点评
新凯来两年内从刻蚀薄膜冲到量检测，节奏快得让ASAM和KLA的股价 analyst 都要重新做模型。但要看清：量检测占国产份额10%不是技术壁垒，是工艺装备太急都没顾上。现在补课，恰恰说明国产替代进入第二阶段——前道工艺设备解决有无后，卡良率脖子的量检测才是真正硬仗。mEBI做多电子束加上AI分类，方向对标KLA正确，但精度和产能数据还缺，量产验证比发布会有分量一百倍。启云方EDA超100家落地，说明整条国产链条在协同铺开，这是地缘倒逼下的系统级成果。
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