High-NA的讣告发得太早了

📋总体概括

SemiWiki发文反驳近期关于High-NA EUV光刻技术前景黯淡的论调。此前市场对High-NA的质疑集中在：设备价格高昂、曝光场面积缩小、经济性难以平衡，以及英特尔之外的大客户倾向于挖掘现有0.33 NA低NA EUV设备的潜力而推迟导入。作者认为，这种观望态度本质上只是采用曲线的延迟，而非技术路线被证伪，把推迟导入等同于技术死刑是过早下结论，High-NA EUV仍是先进制程微缩的既定下一步。