ASML：High NA EUV 累计曝光超 135 万片晶圆，10 台客户系统投运

📋总体概括

ASML在SEMICON Taiwan 2026公布High NA EUV最新进展：累计曝光晶圆超135万片，已有4家客户的10台设备投运，另有3台在安装中。首代量产机型EXE:5200B产能达每小时135片，未来将超180片；机队可用率84%，年底目标90%。