别报废，救回来：前馈控制助力现代半导体制造

📋总体概括

Semiconductor Engineering刊文探讨前馈控制（feedforward control）在先进制程中的应用：通过对光刻后每片晶圆进行量测，将结果反馈至下一道刻蚀工序并动态调整工艺参数，从而把原本可能超出规格、面临报废的晶圆拉回规格范围。相比依赖事后统计的传统反馈控制，这种逐片、跨工序的实时联动成为先进节点良率管理的关键手段。